用深紫外光刻技术制造的芯片使用的是248纳米的光,也有一些制造商使用193纳米光。有了极紫外光刻技术,芯片将用13纳米的光制造。基于波长越小成像效果越好的定律,13纳米光将提高投射到硅片上的图案质量,从而提高芯片的速度。
但整个过程必须在真空中进行,因为这些光的波长很短,连空气都会吸收它们。此外,EUVL使用了涂有多层钼和硅的凹面和凸面镜,这种涂层可以在13.4纳米的波长下反射近70%的EUV光。如果没有涂层,光线在到达晶圆片之前就会被完全吸收。镜子的表面必须近乎完美,即使是涂层上的微小缺陷也会破坏光学器件的形状,扭曲印刷电路的图形,从而导致芯片功能上的问题。
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写的太好了!